晶圆盘自动点胶流水线方案
发布时间： 2014年07月08日
晶圆盘自动点胶流水线方案
一、设计要求
一、设计要求
二、设计流程规划
三、方案设计
四、设备概要及技术参数
一、设计要求
1.1、产品加工要求：产品边缘点UV胶，中间涂AB液胶；
1.2、工艺要求：出胶均匀；
1.3、其他要求待定；
二、设计流程规划
- 设备采用弹夹式自动上料
- 产品来到指定位设备进行点胶
- 流至接料台1
- 产品流至真空脱泡机脱泡
- 后流至固化炉
- 流至接料台2
三、方案设计
3.1、整机设计：
3.1.1、整机参考示意图如下：
3.2、各部分组成
3.2.1弹夹是送料机
3.2、各部分组成：
3.2.2、点胶段
3.2、各部分组成：
说明：
线体带有光电感应和挡停机构，还有一个精确定位机构，Z轴装有CCD摄像头与激光测高，可以自动识别产品误差，纠正点胶位置
线体带有光电感应和挡停机构，还有一个精确定位机构，Z轴装有CCD摄像头与激光测高，可以自动识别产品误差，纠正点胶位置
3.2、各部分组成：
3.2.2、点胶段
3.2、各部分组成：
3.2.2.1、点胶头
3.2、各部分组成：
3.2.3、真空脱泡机
说明：
当产品至升降板上后升降板开始下降，密封门关闭，真空脱泡机启动，脱泡完成后产品从出料口流至接料台2
当产品至升降板上后升降板开始下降，密封门关闭，真空脱泡机启动，脱泡完成后产品从出料口流至接料台2
3.2、各部分组成：
3.2.4、UV固化炉
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